Die Wörter, die es nie ins Handbuch schaffen

Bezeichnung für eine Turbopumpe, die das Hochlaufen beendet und ihre normale Rotationsdrehzahl erreicht hat.

Werkstattjargon-Abkürzung für Atmosphärendruck, verwendet für eine Kammer, die belüftet und zur Luft hin offen ist.

Das Zurückströmen von Pumpenöl oder -dampf in die falsche Richtung, von der Pumpe zurück zur Kammer.

Das Einhüllen eines Bauteils oder Flansches in einen mit Helium gefüllten Plastikbeutel, um die Gesamtdichtheit in einem Durchgang zu prüfen.

Einen kleinen, kontrollierten Gasstrom durch ein Nadel- oder Dosierventil in ein Vakuumsystem einlassen.

Kurzer, plötzlicher Druckstoß in einem Vakuumsystem durch eingeschlossenes Gas, einen sich erwärmenden Abscheider oder ein bewegliches Teil.

Ein Leck unbekannter Position Verbindung für Verbindung zu suchen, oft über Stunden, bis die Quelle genau lokalisiert ist.

Das Zerstören des Rotors einer Turbopumpe durch Kollision mit dem Stator, meist durch abruptes Belüften bei hoher Drehzahl.

Hautöl und Salz, das von einer bloßen Hand auf einer vakuumseitigen Oberfläche hinterlassen wird, was wochenlang ausgast und den Basisdruck verschlechtert.

Nebel, der sich bei schnellem Evakuieren in einer Kammer bildet, wenn sich die expandierende Luft abkühlt und ihr Wasser kondensiert.

Helium, das nach einem großen Lecksignal im Lecksucher oder System verbleibt, das Signal hochhält und kleine Lecks maskiert.

Die Eigenschaft eines abgesperrten Systems, seinen Druck bei geschlossenen Pumpen niedrig zu halten. Ein Druckanstieg bedeutet ein Leck.

Ein System oder eine Verbindung nach jedem Brechen des Vakuums auf Lecks zu prüfen, meist mit einem Helium-Lecksucher.

Laborjargon für die ölgedichtete Drehschieberpumpe, die unter dem Tisch oder hinter der Anlage steht.

Werkstattbezeichnung für ein Millitorr, ein Tausendstel Torr, verwendet in US-Härtereien, Laboren und der Kältetechnik.

Pumpenöl, das durch eine Wasseremulsion trüb oder cremig geworden ist, ein Zeichen für feuchte Lasten.

Bezeichnung für ein Messgerät, das am oberen oder unteren Ende seiner Skala feststeckt und keinen brauchbaren Messwert liefert.

Das Evakuieren einer Kammer von Atmosphärendruck auf ihren Arbeitsdruck über Vorvakuum, Crossover und Hochvakuum.

Kurzform von Regeneration: Erwärmen einer Kryopumpe, um das aufgefangene Gas auszutreiben, und anschließendes Abkühlen.

Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.

Die Suche nach Helium, das aus einem unter Druck stehenden Bauteil entweicht, indem eine Schnüffelsonde langsam über Verbindungen und Schweißnähte geführt wird.

Langsames, gedrosseltes Evakuieren aus dem Atmosphärendruck, um das Aufwirbeln von Partikeln und das Kondensieren von Feuchtigkeit zu verhindern.

Das Auslaufen einer Turbopumpe bis zum Stillstand nach dem Ausschalten, was von alleine viele Minuten dauert.

Werkstattjargon für die gesamte Säule aus Hochvakuumpumpe, Ventilen, Abscheider und Vorvakuumleitung, die eine Kammer evakuiert.

Einlassöffnung einer Hochvakuumpumpe, der Flansch, an dem Gas in eine Turbomolekular-, Kryo- oder Diffusionspumpe eintritt.

Zustand einer Kammer, die auf Atmosphärendruck belüftet wurde und offen oder bereit zum Öffnen ist.

Das Einlassen von Gas, meist trockenem Stickstoff, in eine evakuierte Kammer, um sie wieder auf Atmosphärendruck zu bringen.

Bezeichnung für eine Kammer, deren Wände noch adsorbiertes Wasser enthalten, sodass sie langsam abpumpt und bei hohem Druck stagniert.

Eine Prozessvariable oder ein Messwert erreicht die absolut unterste physische oder theoretische Grenze.

Waferkartenmuster aus konzentrischen Ringen oder einem zentralen Punkt, das Anzeichen für eine radiale Prozessinhomogenität ist.

Werkstattjargon für das Anpassen eines Prozesses nach jedem Messwert, um ihn zum Zielwert zurückzuziehen, was die Streuung nur erhöht.

Knick in einem Weibull-Diagramm, an dem sich die Steigung der Daten ändert, ein Zeichen für zwei Ausfallmodi oder zwei gemischte Populationen.

Plötzliche Abweichung der Ausbeute, der Defektzahlen oder eines Schlüsselparameters aus dem normalen Bereich, die groß genug ist, um Sperren und eine Untersuchung auszulösen.

Dateneingabefehler durch eine falsch getippte Zahl, wie ein verrutschtes Komma oder vertauschte Ziffern, der sich als Fehlsignal darstellt.

Analyse, bei der viele Variablen oder Teilmengen auf der Suche nach einem signifikanten Ergebnis getestet werden, was ein falsch positives Ergebnis fast garantiert.

Einzelner, extrem abweichender Datenpunkt weit abseits der übrigen, oft ein Mess- oder Eingabefehler statt einer echten Prozessänderung.

Referenzwafer oder Referenzteil, das beiseitegelegt und regelmäßig gemessen wird, um zu prüfen, ob eine Anlage oder ein Messgerät gedriftet ist.

Muster auf einer Regelkarte, bei dem sich Punkte ungewöhnlich nah an der Mittellinie häufen, meist ein Zeichen dafür, dass die Grenzen falsch sind.

Scherzhafte Bezeichnung für einen Effekt, der in einer Grafik so offensichtlich ist, dass er einem direkt ins Auge springt, ohne dass formale Statistiken nötig sind.

Defekt, der an einer Stelle auftritt, an der er zum Ausfall eines Die führt, im Gegensatz zu einem harmlosen kosmetischen Defekt oder einem Scheindefekt.

Jeder einstellbare Prozessparameter an einem Werkzeug, wie z. B. HF-Leistung, Druck, Gasfluss, Temperatur oder Zeit.

One factor at a time (Ein-Faktor-Methode): Das Ändern einer einzelnen Eingangsgröße, während der Rest konstant gehalten wird, also die Gewohnheit, die durch statistische Versuchsplanung ersetzt wird.

Out of control (außer Kontrolle): Kürzel für einen Punkt oder eine Karte, die eine Eingriffsgrenze oder Trendregel verletzt hat.

Erweitern einer Spezifikationsgrenze, damit mehr Produkte die Prüfung bestehen, anstatt den Prozess zu beheben, der sie verursacht.

Sieben aufeinanderfolgende Punkte auf einer Seite der Mittellinie oder stetig steigend oder fallend, was als Prozessverschiebung gewertet wird.

Muster auf einer Regelkarte mit allmählicher Drift und plötzlichem Zurücksetzen, das sich mit jedem Wartungszyklus oder Verbrauchsmaterialwechsel wiederholt.

Entweder der elektrische Test auf Wafer-Ebene, der jedes Die klassifiziert, oder eine 100-Prozent-Prüfung, die verdächtige Teile aussortiert.

Ein Los von Wafern, das auf zwei oder mehr Prozessbedingungen aufgeteilt wird, damit der Vergleich auf demselben Eingangsmaterial basiert.

Bereich von Faktoreinstellungen, in dem jede Zielgröße gleichzeitig ihren Sollwert erreicht, ermittelt durch Überlagerung von Konturdiagrammen.

Faustregel, nach der ein Messgerät ein Zehntel oder weniger der Toleranz oder der Prozessvariation auflösen sollte, die es misst.

Werkstattjargon für eine Verteilung mit geringer Streuung, wie bei einem stabilen Prozess oder einer engen Spezifikation; das Gegenteil ist breit oder fett.

Das Datum, an dem ein Gerät erneut kalibriert werden muss, aufgedruckt auf dem Aufkleber und vom Rückrufsystem überwacht.

Das Etikett auf einem kalibrierten Messgerät, das zeigt, wer es kalibriert hat, wann und wann die nächste Kalibrierung fällig ist.

Eine Kalibrierung, die mit vollständigen Messwerten und Unsicherheiten auf dem Zertifikat bestellt wird, nicht nur mit einer Pass/Fail-Aussage.

Die Schritte der letzten Stelle auf einer Digitalanzeige, verwendet in Spezifikationen wie plus oder minus 2 Digits.

Werkstattjargon für das doppelte Eintragen desselben physikalischen Effekts unter verschiedenen Namen, was die Unsicherheit künstlich aufbläht.

Die Faustregel, dass die Messunsicherheit nicht mehr als ein Viertel der zu prüfenden Toleranz betragen sollte.

Ein bekanntermaßen gutes, sorgfältig charakterisiertes Muster eines Produkts, das zur Überprüfung von Prüfständen und Vorrichtungen aufbewahrt wird.

Werkstattbezeichnung für Endmaße, präzise Stahl- oder Keramikblöcke, die zur Bildung von Referenzlängen zusammengesprengt werden.

Eine Kalibrierung, die nur einige Bereiche oder Funktionen eines Geräts abdeckt und mit einem speziellen Aufkleber gekennzeichnet ist.

Eine häufige Angabe auf Zertifikaten, die behauptet, dass eine Messung auf US-amerikanische nationale Normale zurückgeht, oft ungenau verwendet.

Die Seite einer Grenzlehrlehre, die nicht in oder über ein Bauteil passen darf.

Außerhalb der Toleranz (Out of tolerance), ein Messergebnis im Anlieferungszustand der Kalibrierung, das außerhalb der zulässigen Grenzen des Geräts liegt.

Das Kalibrierfälligkeitsdatum ist überschritten, sodass das Gerät unabhängig von seiner tatsächlichen Leistung nicht für den Einsatz zugelassen ist.

Werkstattjargon für das Ausfüllen von Kalibrier- oder Prüfprotokollen, ohne die Messungen tatsächlich durchzuführen.

Das System, das Geräte vor ihrem Fälligkeitsdatum zur Kalibrierung einplant, und der Akt des Einforderns selbst.

Ein Ausschussanhänger, der ein Gerät als unbrauchbar kennzeichnet, oder der Akt, ein Gerät damit aus dem Verkehr zu ziehen.

Werkstattjargon für das Teilen einer rechteckigen Grenze durch die Quadratwurzel aus 3, um sie in eine Standardunsicherheit umzuwandeln.

Ein Ringversuch, bei dem ein Artefakt oder eine Probe von Labor zu Labor wandert, um von jedem gemessen zu werden.

Die integrierte Routine eines Geräts, die seine internen Bereiche mit seiner eigenen internen Referenz abgleicht.

Das Ruhenlassen eines Geräts, Artefakts oder Teils in der Laborumgebung, bis es das thermische Gleichgewicht erreicht hat.

Werkstattjargon für die Genauigkeitsspezifikation des Herstellers, also die veröffentlichten Grenzen, innerhalb derer ein Instrument bleiben sollte.

Werkstattjargon für eine kleine Justierung an einem Gerät, um seine Messwerte wieder an den Nennwert heranzuführen.

Werkstattjargon für eine Unsicherheit, die bei k = 2 angegeben ist, was einer Überdeckung von etwa 95 Prozent entspricht.