Ein Flyer ist ein einzelner, isolierter Messwert, der weit entfernt von seinen Nachbarn liegt und auf den keine Verschiebung oder kein Trend folgt. Bevor Insider dies als systematische Ursache behandeln, überprüfen sie das Messgerät, die Probe, das Rezept und die Dateneingabe, da sich viele Flyer als Messartefakte herausstellen. Bestätigte Flyer werden auf der Regelkarte kommentiert und bei der Neuberechnung von Grenzen normalerweise weggelassen.
One flyer at 312 nm on a 250 nm target, remeasure read 251. Bad CD-SEM read, not the wafer.
In klarem Deutsch Ein Flyer bei 312 nm bei einem Zielwert von 250 nm, die Nachmessung ergab 251. Ein fehlerhafter CD-SEM-Messwert, nicht der Wafer.
Auch bekannt als
- freak
- wild point
- flier
Nicht zu verwechseln mit
- Outlier: Outlier (Ausreißer) ist der Fachbegriff für jeden Punkt, der nicht mit dem Rest eines Datensatzes übereinstimmt; Flyer ist der Werkstattjargon für einen einzelnen, extrem abweichenden Punkt auf einer zeitlich geordneten Regelkarte.
Verwandte Begriffe
Outlier
Beobachtung, die weit vom Muster der übrigen Daten abweicht, entweder ein echter Extremwert oder ein Fehler.
Fat-finger
Dateneingabefehler durch eine falsch getippte Zahl, wie ein verrutschtes Komma oder vertauschte Ziffern, der sich als Fehlsignal darstellt.
OOC
Out of control (außer Kontrolle): Kürzel für einen Punkt oder eine Karte, die eine Eingriffsgrenze oder Trendregel verletzt hat.
Special cause
Bestimmte, identifizierbare Quelle von Variation, die nicht zum normalen Verhalten des Prozesses gehört und sich als Signal auf der Karte zeigt.