Ein Sawtooth (Sägezahn) tritt auf, wenn ein Parameter zwischen Wartungsereignissen stetig driftet und beim Eintreten des Ereignisses abrupt zurückspringt: Die Ätzrate nimmt zwischen den Nassreinigungen ab, die Abtragsrate sinkt, wenn sich ein Polierpad abnutzt, und springt nach oben, wenn es ausgetauscht wird, oder eine Ionenquelle altert, bis sie gewechselt wird. Die Steigung jedes Zahns gibt die Driftrate an und seine Länge das Wartungsintervall. Das Eintragen in eine Regelkarte mit einer festen Mittellinie führt zu Trends und Fehlalarmen, weshalb Ingenieure oft die Residuen nach Abzug der erwarteten Drift darstellen.
Removal rate is a perfect sawtooth with the pad changes. Plot it against pad life instead of date and every tooth lines up.
In klarem Deutsch Die Abtragsrate ist ein perfekter Sawtooth mit den Pad-Wechseln. Stellen Sie sie in Abhängigkeit von der Pad-Lebensdauer anstelle des Datums dar, und jeder Zahn reiht sich perfekt ein.
Auch bekannt als
- sawtooth pattern
- PM sawtooth
Verwandte Begriffe
Drift
Langsame, stetige schleichende Veränderung eines Prozess- oder Messwerts in eine Richtung durch Verschleiß, Erschöpfung oder Alterung.
Shift
Plötzliche, anhaltende sprunghafte Veränderung eines Prozessmittelwerts, oft nach einer Wartung, einem Materialwechsel oder einer Rezeptänderung.
Control chart
Zeitlich geordnetes Diagramm einer Prozesskenngröße mit einer Mittellinie und Grenzen, die signalisieren, wenn sich der Prozess verändert hat.
EWMA
Exponentiell gewichteter gleitender Mittelwert: eine Karte oder ein Regler, der jeden Messwert mit der Vergangenheit verknüpft, um kleine, langsame Verschiebungen zu erkennen.