Exponentially weighted moving average: Jeder dargestellte Wert ist Lambda mal dem neuesten Messwert plus (1 minus Lambda) mal dem vorherigen EWMA-Wert, sodass ältere Daten geometrisch abklingen. Mit einem Lambda zwischen 0,05 und 0,25 und Grenzen nahe 2,7 bis 3 Sigma erkennt eine EWMA-Karte Verschiebungen von 0,5 bis 1,5 Sigma weitaus schneller als eine Shewhart-Karte. Halbleiterfabriken nutzen EWMA auch als Filter in Run-to-Run-Reglern, die Rezeptzeiten oder Dosierungen von Los zu Los anpassen.
Shewhart chart missed it, but the EWMA on etch rate flagged a half-sigma drop three days before the CD shift.
In klarem Deutsch Die Shewhart-Karte hat es übersehen, aber die EWMA für die Ätzrate signalisierte einen Abfall von einem halben Sigma drei Tage vor der CD-Verschiebung.
Auch bekannt als
- exponentially weighted moving average
- geometric moving average
Nicht zu verwechseln mit
- CUSUM: Beide erfassen kleine Verschiebungen; EWMA glättet mit abklingenden Gewichten, während CUSUM Abweichungen vom Sollwert akkumuliert, bis sie eine Entscheidungsschwelle überschreiten.
Verwandte Begriffe
CUSUM
Kumulierte Summenkarte: summiert Abweichungen vom Sollwert auf, sodass sich eine kleine, anhaltende Verschiebung zu einem klaren Signal aufbaut.
Drift
Langsame, stetige schleichende Veränderung eines Prozess- oder Messwerts in eine Richtung durch Verschleiß, Erschöpfung oder Alterung.
Shift
Plötzliche, anhaltende sprunghafte Veränderung eines Prozessmittelwerts, oft nach einer Wartung, einem Materialwechsel oder einer Rezeptänderung.
I-MR chart
Einzelwert- und gleitende Spannweitenkarte: die Qualitätsregelkarte für einen Messwert pro Zeitraum, wie etwa eine Charge oder ein Los.
Control chart
Zeitlich geordnetes Diagramm einer Prozesskenngröße mit einer Mittellinie und Grenzen, die signalisieren, wenn sich der Prozess verändert hat.