Eine rational subgroup wird zeitlich nah beieinander von einem einzigen Werkzeug, einer Kammer, einer Spindel oder einer Kavität erfasst, sodass die Streuung innerhalb der Stichprobengruppe nur das gewöhnliche Rauschen abbildet und systematische Ursachen sich zwischen den Gruppen zeigen. Macht man hierbei Fehler, indem man beispielsweise Wafer aus vier Kammern in einer Stichprobengruppe zusammenfasst, bläht sich die Spannweite innerhalb der Gruppe auf, die X-bar-Grenzen weiten sich extrem aus und echte Verschiebungen werden darin unsichtbar. Die Gruppenbildung ist die wichtigste Designentscheidung beim Einrichten einer Variablenkarte.
Those five sites aren't a rational subgroup, center and edge differ by design. Chart the wafer mean as an individual and track uniformity separately.
In klarem Deutsch Diese fünf Messpunkte sind keine rational subgroup, Mitte und Rand unterscheiden sich konstruktionsbedingt. Stellen Sie den Wafer-Mittelwert als Einzelwert dar und überwachen Sie die Gleichmäßigkeit separat.
Auch bekannt als
- subgroup
- rational subgrouping
Verwandte Begriffe
X-bar and R chart
Gepaarte Qualitätsregelkarten für Stichprobenmittelwerte und Stichprobenspannweiten, der Standard für in kleinen Gruppen erfasste Messdaten.
Control limits
Grenzen auf einer Qualitätsregelkarte, die aus der Eigenvarianz des Prozesses berechnet werden und angeben, wie weit das gewöhnliche Rauschen normalerweise reicht.
Hugging the centerline
Muster auf einer Regelkarte, bei dem sich Punkte ungewöhnlich nah an der Mittellinie häufen, meist ein Zeichen dafür, dass die Grenzen falsch sind.
Common cause
In einen stabilen Prozess eingebaute Hintergrundvarianz aus vielen kleinen Quellen, die ständig vorhanden ist.