Rational subgroup

nomTerme techniqueStatistiques

Groupe de mesures choisies de manière à ce que seule une variation courante et à court terme puisse se produire en son sein.

Un sous-groupe rationnel (rational subgroup) est collecté sur un intervalle de temps très court, à partir d'un seul outil, d'une seule chambre, d'une seule broche ou d'une seule cavité, de sorte que la dispersion au sein du sous-groupe ne capture que le bruit de cause commune et que toute cause spéciale apparaisse entre les sous-groupes. Si vous vous trompez, par exemple en regroupant des plaquettes de quatre chambres différentes dans un seul sous-groupe, l'étendue au sein du sous-groupe gonfle, les limites de la carte X-barre s'élargissent démesurément et les décalages réels disparaissent à l'intérieur. Le choix du sous-groupement est la décision de conception la plus importante lors de la mise en place d'une carte de mesures.

Entendu sur le terrain

Those five sites aren't a rational subgroup, center and edge differ by design. Chart the wafer mean as an individual and track uniformity separately.

En français simple Ces cinq points ne forment pas un rational subgroup, le centre et le bord diffèrent par conception. Tracez la moyenne de la plaquette en valeur individuelle et suivez l'uniformité séparément.

Aussi entendu sous

  • subgroup
  • rational subgrouping