Un motif en sawtooth apparaît lorsqu'un paramètre dérive régulièrement entre deux opérations de maintenance et revient brusquement à sa valeur initiale lors de l'intervention : vitesse de gravure qui diminue entre les nettoyages humides, vitesse de retrait qui chute à mesure qu'un tampon de polissage s'use et remonte lorsqu'il est remplacé, ou source d'ions qui vieillit jusqu'à son remplacement. La pente de chaque dent indique le taux de dérive et sa longueur correspond à l'intervalle de maintenance. Tracer cela par rapport à une ligne centrale fixe crée des suites et de fausses alarmes, c'est pourquoi les ingénieurs tracent souvent le résidu après avoir éliminé la dérive attendue.
Removal rate is a perfect sawtooth with the pad changes. Plot it against pad life instead of date and every tooth lines up.
En français simple La vitesse de retrait forme un sawtooth parfait avec les changements de tampon. Tracez-la en fonction de la durée de vie du tampon plutôt que de la date et toutes les dents s'alignent.
Aussi entendu sous
- sawtooth pattern
- PM sawtooth
Termes associés
Drift
Dérive lente et régulière d'une mesure de procédé ou d'instrument dans une direction à mesure que quelque chose s'use, s'épuise ou vieillit.
Shift
Changement brusque et soutenu de la moyenne d'un procédé, souvent après une opération de maintenance, un changement de matériau ou une modification de recette.
Control chart
Tracé chronologique d'une statistique de procédé avec une ligne centrale et des limites qui signalent un changement du procédé.
EWMA
Moyenne mobile pondérée exponentiellement : carte ou contrôleur qui fusionne chaque mesure avec le passé pour détecter les décalages faibles et lents.