SPC

abréviationTerme techniqueStatistiques

Maîtrise statistique des procédés (MSP) : utilisation de cartes de contrôle et de règles de décision pour distinguer le bruit de fond d'un procédé des changements réels.

La maîtrise statistique des procédés consiste à échantillonner un procédé selon un calendrier défini, à tracer les résultats sur des cartes de contrôle et à ne réagir que lorsque les données émettent un signal. Son idée centrale est la distinction entre la variation due à des causes communes, que l'on ne touche pas, et la variation due à des causes spéciales, qui fait l'objet d'une enquête et d'une élimination. Dans une unité de fabrication, des milliers de cartes SPC s'exécutent automatiquement sur l'épaisseur de film, la dimension critique, le comptage de particules et les capteurs d'équipements, chacune étant liée à un plan d'action pour dérive de procédé.

Entendu sur le terrain

Put the new CMP removal-rate monitor into SPC with the same run rules as tool 3, and link it to the OCAP before Monday.

En français simple Mettez le nouveau moniteur de taux d'enlèvement CMP en SPC avec les mêmes règles de décision que l'équipement 3, et liez-le à l'OCAP avant lundi.

Conseil de pro

La SPC vous indique que le procédé a changé, et non si le produit est conforme. L'aptitude du procédé (capabilité) et les limites de spécification répondent à cette seconde question.

Aussi entendu sous

  • statistical process control