SPC

abreviaturaTérmino técnicoEstadística

Control estadístico de procesos: uso de gráficos de control y reglas de racha para distinguir el ruido de proceso habitual de los cambios reales.

El control estadístico de procesos (SPC) es la práctica de muestrear un proceso de forma programada, representar los resultados en gráficos de control y reaccionar únicamente cuando los datos muestran una señal. Su idea central es la división entre la variación por causas comunes, que no se toca, y la variación por causas especiales, que se investiga y se elimina. En una planta de fabricación de semiconductores, miles de gráficos de SPC se ejecutan automáticamente sobre el espesor de película, la dimensión crítica, el recuento de partículas y los sensores de las herramientas, cada uno de ellos vinculado a un plan de acción para situaciones fuera de control.

Escuchado en el trabajo

Put the new CMP removal-rate monitor into SPC with the same run rules as tool 3, and link it to the OCAP before Monday.

En español sencillo Ponga el nuevo monitor de tasa de eliminación de CMP en SPC con las mismas reglas de racha que la herramienta 3, y vincúlelo al OCAP antes del lunes.

Consejo de experto

El SPC le indica si el proceso ha cambiado, no si el producto es bueno. La capacidad y los límites de especificación responden a esa segunda pregunta.

También se escucha como

  • statistical process control