Excursion ist der Werkstattjargon in der Halbleiterfertigung für ein abnormales Ereignis, bei dem sich eine Kennzahl weit außerhalb ihres üblichen Bereichs bewegt, wie z. B. eine Partikelspitze auf einem Werkzeug, ein Ausbeuteabfall bei einer Gruppe von Losen oder ein Parametersprung nach einer chemischen Änderung. Excursions lösen eine bekannte Routine aus: betroffenes Material sperren, den Umfang eingrenzen, eine Commonality-Analyse über Werkzeuge und Schritte hinweg durchführen, die Ursache beheben und über die gesperrten Lose entscheiden. Teams verfolgen die Anzahl der Excursions und der betroffenen Lose als Schlüsselkennzahl.
We're calling it an excursion: 14 lots through etcher 6 since Thursday, all with the same bin 9 signature.
In klarem Deutsch Wir stufen das als Excursion ein: 14 Lose durch Ätzer 6 seit Donnerstag, alle mit derselben Bin-9-Signatur.
In der ersten Stunde einer Excursion geht es um den Umfang, nicht um die Ursache: Finden Sie jedes Los, das das verdächtige Werkzeug berührt hat, bevor jemand Theorien aufstellt.
Auch bekannt als
- yield excursion
- defect excursion
- yield bust
Verwandte Begriffe
Special cause
Bestimmte, identifizierbare Quelle von Variation, die nicht zum normalen Verhalten des Prozesses gehört und sich als Signal auf der Karte zeigt.
Killer defect
Defekt, der an einer Stelle auftritt, an der er zum Ausfall eines Die führt, im Gegensatz zu einem harmlosen kosmetischen Defekt oder einem Scheindefekt.
Wafer map
Grafische Darstellung eines Wafers, die das Testergebnis oder den Messwert jedes Chips nach Position zeigt, um räumliche Fehlermuster zu erkennen.
OOC
Out of control (außer Kontrolle): Kürzel für einen Punkt oder eine Karte, die eine Eingriffsgrenze oder Trendregel verletzt hat.