OOC

AbkürzungWerkstattjargonStatistik

Out of control (außer Kontrolle): Kürzel für einen Punkt oder eine Karte, die eine Eingriffsgrenze oder Trendregel verletzt hat.

Out of control, der alltägliche Werkstattjargon in der Halbleiterfertigung und Qualitätssicherung für ein SPC-Signal, wie bei einem Los, das OOC ging, oder einem Tool mit drei OOCs in dieser Woche. Ein OOC besagt, dass sich der Prozess verändert hat, nicht, dass das Produkt fehlerhaft ist; Teile können OOC sein, während sie noch innerhalb der Spezifikation liegen. Die meisten Fabs protokollieren jedes OOC mit einem Ursachencode und verfolgen die OOC-Raten pro Karte, da eine Karte, die nie anschlägt, und eine Karte, die täglich anschlägt, beide auf fehlerhafte Grenzen hindeuten.

Am Arbeitsplatz gehört

Two OOCs on the CVD thickness chart overnight, both on chamber B. Chamber's down until the monitor wafer passes.

In klarem Deutsch Zwei OOCs auf der CVD-Schichtdickenkarte über Nacht, beide in Kammer B. Die Kammer ist gesperrt, bis der Monitorwafer besteht.

Auch bekannt als

  • out of control
  • OOC event
  • SPC violation

Nicht zu verwechseln mit

  • OOS: OOS bedeutet, dass ein Ergebnis außerhalb der Spezifikationsgrenzen liegt; OOC bedeutet, dass sich der Prozess außerhalb seines eigenen statistischen Verhaltens bewegt hat.