Ein Factor ist jede steuerbare Eingangsgröße, deren Auswirkung auf eine Zielgröße untersucht wird. Jeder Factor wird auf zwei oder mehr Stufen betrieben, den spezifischen Einstellungen, wie z. B. 150 und 200 °C oder Lieferant A und Lieferant B. Faktoren können kontinuierlich oder kategorial sein, und die Zielgröße (Response) ist das gemessene Ausgangsergebnis, das das Experiment zu erklären versucht, wie Dicke, Ausbeute oder Festigkeit. Die Auswahl der richtigen Faktoren und Stufenbereiche ist wichtiger als jede anschließende Analyse.
Five factors at two levels is 32 runs full factorial and we only have wafers for 16. Make it a half fraction.
In klarem Deutsch Fünf Faktoren auf zwei Stufen ergeben 32 Durchläufe im vollständigen faktoriellen Versuchsplan, und wir haben nur Wafer für 16. Machen Sie einen teilfaktoriellen Plan daraus.
Stellen Sie die Stufen weit genug auseinander, um einen Effekt gegenüber dem Rauschen zu erkennen: Ein zu zaghafter Bereich ist der häufigste Grund, warum eine DOE ohne signifikante Ergebnisse bleibt.
Auch bekannt als
- input
- X
- control factor
Verwandte Begriffe
DOE
Design of experiments (statistische Versuchsplanung): Planung einer Reihe von Durchläufen, bei denen mehrere Faktoren gleichzeitig variiert werden, um deren Effekte zu trennen.
Factorial design
Versuchsplan, bei dem jede Kombination der gewählten Faktorstufen durchgespielt wird, sodass jeder Haupteffekt und jede Wechselwirkung geschätzt werden kann.
Interaction
Situation, in der die Wirkung eines Faktors von der Stufe eines anderen abhängt, sodass ihre kombinierte Wirkung nicht einfach additiv ist.
Knob
Jeder einstellbare Prozessparameter an einem Werkzeug, wie z. B. HF-Leistung, Druck, Gasfluss, Temperatur oder Zeit.