Ein split lot schickt einige Wafer eines Loses durch eine Testbedingung und den Rest durch die Baseline, zum Beispiel die Hälfte der Slots mit dem neuen Ätzrezept und die Hälfte mit dem Standardprozess (Process of Record). Da alle Wafer denselben Start, dieselbe Historie und denselben Testaufbau teilen, fällt das Rauschen von Los zu Los aus dem Vergleich heraus und kleine Effekte werden sichtbar. Splits sind die alltägliche statistische Versuchsplanung in der Fab.
Split lot came back clean: odd slots on the new liner, even slots on POR, no difference in via resistance.
In klarem Deutsch Das split lot kam sauber zurück: ungerade Slots auf dem neuen Liner, gerade Slots auf POR, kein Unterschied beim Via-Widerstand.
Verschachteln Sie ungerade und gerade Slots. Eine Aufteilung in obere und untere Hälfte vermengt bei Batch-Werkzeugen den Effekt der Behandlung mit der Slot-Position.
Auch bekannt als
- split
- wafer split
Verwandte Begriffe
Block
Gruppe von Versuchsdurchläufen, die unter ähnlichen Bedingungen durchgeführt werden, um eine bekannte Störquelle wie Tag, Charge oder Werkzeug zu eliminieren.
t-test
Test, der einen Mittelwert mit einem Sollwert oder zwei Mittelwerte miteinander vergleicht, unter Verwendung der t-Verteilung.
Confounding
Vermischung zweier Effekte, sodass die Daten sie nicht trennen können, sei es durch den Versuchsplan oder durch eine unkontrollierte Variable.
DOE
Design of experiments (statistische Versuchsplanung): Planung einer Reihe von Durchläufen, bei denen mehrere Faktoren gleichzeitig variiert werden, um deren Effekte zu trennen.