Un split lot envía algunas obleas de un lote a través de una condición de prueba y el resto a través de la línea base, por ejemplo, la mitad de las ranuras con la nueva receta de grabado y la mitad con el proceso de registro. Debido a que todas las obleas comparten un inicio, un historial y una configuración de prueba, el ruido de lote a lote desaparece de la comparación y los pequeños efectos se vuelven visibles. Los splits son el diseño de experimentos diario de la fábrica.
Split lot came back clean: odd slots on the new liner, even slots on POR, no difference in via resistance.
En español sencillo El split lot volvió limpio: ranuras impares en el nuevo revestimiento, ranuras pares en el POR, sin diferencias en la resistencia de las vías.
Intercale las ranuras impares y pares. Un split de mitad superior frente a mitad inferior confunde el tratamiento con la posición de la ranura en las herramientas por lotes.
También se escucha como
- split
- wafer split
Términos relacionados
Block
Grupo de pruebas experimentales realizadas en condiciones similares, utilizado para eliminar una fuente de ruido conocida como el día, el lote o la herramienta.
t-test
Prueba que compara una media con un objetivo, o dos medias entre sí, utilizando la distribución t.
Confounding
Mezcla de dos efectos de modo que los datos no pueden separarlos, ya sea por diseño o debido a una variable no controlada.
DOE
Diseño de experimentos: planificación de un conjunto de pruebas que varían varios factores a la vez para poder separar sus efectos.