Un split lot envoie certaines plaquettes d'un lot dans une condition d'essai et le reste dans la ligne de base, par exemple la moitié des fentes avec la nouvelle recette de gravure et la moitié avec le procédé de référence. Comme toutes les plaquettes partagent un même départ, un même historique et une même configuration d'essai, le bruit de lot à lot disparaît de la comparaison et les petits effets deviennent visibles. Les splits sont les plans d'expériences quotidiens de l'usine de fabrication.
Split lot came back clean: odd slots on the new liner, even slots on POR, no difference in via resistance.
En français simple Le split lot est revenu conforme : les fentes impaires sur le nouveau revêtement, les fentes paires sur le procédé de référence, aucune différence de résistance de via.
Intercalez les fentes impaires et paires. Une séparation moitié supérieure contre moitié inférieure confond le traitement avec la position de la fente dans les outils de traitement par lots.
Aussi entendu sous
- split
- wafer split
Termes associés
Block
Groupe d'essais expérimentaux réalisés dans des conditions similaires, utilisé pour éliminer une source de nuisance connue telle que le jour, le lot ou l'outil.
t-test
Test qui compare une moyenne à une cible, ou deux moyennes entre elles, à l'aide de la distribution t.
Confounding
Mélange de deux effets de sorte que les données ne peuvent pas les séparer, que ce soit par conception ou à cause d'une variable non contrôlée.
DOE
Plan d'expériences : planification d'un ensemble d'essais qui font varier plusieurs facteurs à la fois afin de séparer leurs effets.