Le sweet spot est le nom informel de la zone de chevauchement où toutes les exigences sont satisfaites en même temps, par exemple une vitesse de gravure assez élevée, une uniformité inférieure à 2 % et une sélectivité supérieure à 20. Les ingénieurs le trouvent en superposant les graphiques de contours d'un modèle de surface de réponse et en grisant les zones où chaque réponse échoue. Un grand sweet spot signifie un procédé tolérant. Un tout petit signifie un contrôle serré sur chaque bouton.
Overlay plot shows the sweet spot is tiny, about 5 watts by 2 millitorr. That recipe won't survive tool-to-tool matching.
En français simple Le graphique de superposition montre que le sweet spot est minuscule, environ 5 watts par 2 millitorr. Cette recette ne survivra pas à l'appariement des outils.
Aussi entendu sous
- process window
- operating window
Termes associés
RSM
Méthodologie des surfaces de réponse (Response surface methodology) : expériences séquentielles qui ajustent des modèles courbes pour trouver les réglages optimisant une réponse.
Robust
Qualifie un produit ou un procédé dont la sortie reste conforme à la cible malgré la variation de facteurs de bruit incontrôlables.
Knob
Tout paramètre de procédé réglable sur un outil, tel que la puissance RF, la pression, le débit de gaz, la température ou le temps.
DOE
Plan d'expériences : planification d'un ensemble d'essais qui font varier plusieurs facteurs à la fois afin de séparer leurs effets.