Der t-test (t-Test) teilt die Differenz zwischen den Mittelwerten durch ihren Standardfehler und vergleicht das Verhältnis mit der t-Verteilung für die verfügbaren Freiheitsgrade. Die Version für zwei Stichproben vergleicht zwei Gruppen, wie Werkzeug A gegen Werkzeug B, und die Welch-Form vermeidet die Annahme gleicher Varianzen. Die gepaarte Version wird angewendet, wenn dieselben Einheiten unter beiden Bedingungen gemessen werden, wie etwa dieselben Wafer auf zwei Metrologiewerkzeugen, und eliminiert die Schwankungen von Einheit zu Einheit aus dem Vergleich.
Use a paired t-test, it's the same 20 wafers on both ellipsometers. Unpaired throws away most of your power.
In klarem Deutsch Verwenden Sie einen gepaarten t-test, es sind dieselben 20 Wafer auf beiden Ellipsometern. Ungepaart verschenkt den Großteil Ihrer Power.
Auch bekannt als
- Student's t-test
- two-sample t
- paired t
- Welch test
Verwandte Begriffe
p-value
Wahrscheinlichkeit, ein mindestens so extremes Ergebnis zu sehen, wenn es in Wahrheit keinen Effekt gäbe, verwendet zur Beurteilung der statistischen Signifikanz.
ANOVA
Analysis of variance (Varianzanalyse): Aufteilung der Gesamtabweichung in Anteile der einzelnen Faktoren und des Fehlers, um zu prüfen, welche Anteile real sind.
Power
Wahrscheinlichkeit, dass ein Test einen realen Effekt einer bestimmten Größe erkennt, festgelegt durch Stichprobenumfang, Rauschen und Alpha.
Split lot
Ein Los von Wafern, das auf zwei oder mehr Prozessbedingungen aufgeteilt wird, damit der Vergleich auf demselben Eingangsmaterial basiert.