Knob (Stellschraube) ist Werkstattjargon in der Halbleiterfertigung und Prozesstechnik für einen steuerbaren Rezeptparameter, unabhängig davon, ob das Werkzeug einen physischen Drehknopf dafür hat oder nicht. Ingenieure sprechen darüber, welche Knobs die CD beeinflussen, über das Drehen am Zeit-Knob oder darüber, dass ein Run-to-Run-Regler den Dosis-Knob kontrolliert. Bei der Versuchsplanung sind die Knobs die potenziellen Faktoren, und ein guter Prozess hat einige wenige starke Knobs mit vorhersagbaren, unabhängigen Effekten.
Pressure is the only knob that moves uniformity without hurting rate. Put it in the DOE at three levels.
In klarem Deutsch Der Druck ist der einzige Knob, der die Gleichmäßigkeit verändert, ohne die Rate zu beeinträchtigen. Nehmen Sie ihn mit drei Stufen in den DOE auf.
Auch bekannt als
- process knob
- tuning knob
- control knob
Verwandte Begriffe
Factor
Eingangsvariable, die in einem Experiment bewusst auf ausgewählte Stufen eingestellt wird, wie Temperatur, Druck, Zeit oder Lieferant.
DOE
Design of experiments (statistische Versuchsplanung): Planung einer Reihe von Durchläufen, bei denen mehrere Faktoren gleichzeitig variiert werden, um deren Effekte zu trennen.
Chasing the mean
Werkstattjargon für das Anpassen eines Prozesses nach jedem Messwert, um ihn zum Zielwert zurückzuziehen, was die Streuung nur erhöht.
Sweet spot
Bereich von Faktoreinstellungen, in dem jede Zielgröße gleichzeitig ihren Sollwert erreicht, ermittelt durch Überlagerung von Konturdiagrammen.