Drift ist eine allmähliche Veränderung im Laufe der Zeit: eine sinkende Ätzrate durch Beschichtung der Kammerwände, das Zusetzen eines Polierpads, ein alternder Sensor, ein dünner werdendes Filament oder das Nachlassen eines Referenzstandards. Auf einer Qualitätsregelkarte zeigt sich dies als Trend oder langer Lauf, bevor ein einzelner Punkt eine Grenze verletzt. Run-to-Run-Regler und EWMA-Karten sind darauf ausgelegt, dies zu verfolgen, und manche geplanten Wartungen dienen rein dazu, diesen Zustand zurückzusetzen.
Deposition rate drifts down about half a percent a day until the next wet clean, so the controller bumps time to compensate.
In klarem Deutsch Die Abscheidungsrate drifts nach unten um etwa ein halbes Prozent pro Tag bis zur nächsten Nassreinigung, daher erhöht der Regler die Zeit, um das auszugleichen.
Ein Drift des Messgeräts sieht auf einer Karte exakt so aus wie ein Prozessdrift. Messen Sie den Referenzwafer, bevor Sie das Tool neu einstellen.
Auch bekannt als
- creep
- trend
- walk
Verwandte Begriffe
Shift
Plötzliche, anhaltende sprunghafte Veränderung eines Prozessmittelwerts, oft nach einer Wartung, einem Materialwechsel oder einer Rezeptänderung.
EWMA
Exponentiell gewichteter gleitender Mittelwert: eine Karte oder ein Regler, der jeden Messwert mit der Vergangenheit verknüpft, um kleine, langsame Verschiebungen zu erkennen.
Sawtooth
Muster auf einer Regelkarte mit allmählicher Drift und plötzlichem Zurücksetzen, das sich mit jedem Wartungszyklus oder Verbrauchsmaterialwechsel wiederholt.
Run of seven
Sieben aufeinanderfolgende Punkte auf einer Seite der Mittellinie oder stetig steigend oder fallend, was als Prozessverschiebung gewertet wird.
Gleiches Wort, verschiedene Welten
Allmähliche Veränderung der Messwerte eines Geräts im Laufe der Zeit, die vom Gerät selbst ausgeht und nicht von dem, was es misst.
Kfz-Reparatur & AutomobileEine Fahrtechnik, bei der der Fahrer absichtlich übersteuert, um die Traktion der Hinterachse zu brechen, während er die Kontrolle behält.
Bergbau & GeologieEin horizontaler oder nahezu horizontaler untertägiger Gang.