Individuals and moving range chart: Das obere Diagramm stellt jeden einzelnen Messwert dar, das untere die absolute Differenz zwischen aufeinanderfolgenden Messwerten. Sigma wird als mittlere gleitende Spannweite geteilt durch 1,128 geschätzt, sodass die Grenzen für Einzelwerte beim Mittelwert plus/minus dem 2,66-Fachen der mittleren gleitenden Spannweite liegen. Sie eignet sich für Chargenchemie, tägliche Kontrollen und Daten mit nur einem Wafer pro Los, reagiert jedoch empfindlich auf schiefe Daten und Autokorrelation.
Only one monitor wafer a day on that implanter, so it's an I-MR chart, not X-bar and R.
In klarem Deutsch Da wir an diesem Implanter nur einen Monitorwafer pro Tag fahren, nutzen wir eine I-MR chart und keine X-bar and R.
Schätzen Sie das Sigma für Einzelwerte immer aus der mittleren gleitenden Spannweite, niemals aus der Gesamtstandardabweichung: Eine Verschiebung in den Daten bläht den Gesamtwert auf und maskiert sich dadurch selbst.
Auch bekannt als
- individuals chart
- XmR chart
- I chart
- ImR
Verwandte Begriffe
X-bar and R chart
Gepaarte Qualitätsregelkarten für Stichprobenmittelwerte und Stichprobenspannweiten, der Standard für in kleinen Gruppen erfasste Messdaten.
Control chart
Zeitlich geordnetes Diagramm einer Prozesskenngröße mit einer Mittellinie und Grenzen, die signalisieren, wenn sich der Prozess verändert hat.
Autocorrelation
Korrelation zwischen aufeinanderfolgenden Werten in einer Zeitreihe, die die Unabhängigkeit aufhebt, die Standard-Qualitätsregelkarten voraussetzen.
EWMA
Exponentiell gewichteter gleitender Mittelwert: eine Karte oder ein Regler, der jeden Messwert mit der Vergangenheit verknüpft, um kleine, langsame Verschiebungen zu erkennen.