Das alltägliche Verb für jede Leckprüfung, vom schnellen Helium-Sprühen an einem frisch ausgetauschten Flansch bis zur vollständigen Abnahmeprüfung einer neuen Kammer. In Halbleiterfabriken ist ein leak-check ein vorgeschriebener Schritt nach Wartungsarbeiten, bevor eine Anlage wieder in die Produktion geht, und wird mit dem gemessenen Wert protokolliert. Ein Anhänger mit der Aufschrift leak-checked bedeutet, dass jemand den Detektor beobachtet hat, während jede geöffnete Verbindung abgesprüht wurde, und nichts oberhalb der Spezifikation feststellen konnte.
Swapped the gate valve, leak checked it at 5E-11, putting the tool back up for quals.
In klarem Deutsch Habe das Schieberventil ausgetauscht, einen leak-check bei 5E-11 durchgeführt und gebe die Anlage wieder für die Qualifizierung frei.
Auch bekannt als
- leak-check
- leak test
- LC
Verwandte Begriffe
Helium spray test
Leckprüfung von außen nach innen: Helium wird auf ein evakuiertes Bauteil gesprüht, während ein Detektor im Inneren danach sucht.
Helium leak detector
Auf Helium abgestimmtes Massenspektrometer, das Lecks findet und misst, indem es in das System eingesaugtes Helium detektiert.
Chase a leak
Ein Leck unbekannter Position Verbindung für Verbindung zu suchen, oft über Stunden, bis die Quelle genau lokalisiert ist.
Rate of rise
Prüfung, bei der eine abgepumpte Kammer isoliert und aufgezeichnet wird, wie schnell der Druck ansteigt, um Lecks und Ausgasung abzuschätzen.