Ein Test, bei dem die Kammer von ihren Pumpen abgesperrt und der Druckanstieg über die Zeit protokolliert wird. Der Gaseinstrom ist Q = V·Δp/Δt. Ein echtes Leck liefert eine gerade Linie, die kontinuierlich ansteigt, während Ausgasung oder ein virtual-leak eine Kurve ergeben, die abflacht, wenn die Oberflächen gesättigt sind oder sich die eingeschlossene Tasche entleert. Spezifikationen für Vakuumöfen begrenzen diesen Wert typischerweise auf einen Wert wie 10 Mikrometer pro Stunde.
Rate of rise on furnace 4 is 25 microns an hour and dead linear, that's a real leak, not wet walls.
In klarem Deutsch Die rate-of-rise an Ofen 4 beträgt 25 Mikrometer pro Stunde und verläuft absolut linear, das ist ein echtes Leck und keine feuchten Wände.
Stellen Sie die Daten der rate-of-rise auf linearen Achsen dar, nicht auf einer logarithmischen Skala. Eine gerade Linie auf linearen Achsen ist das typische Zeichen für ein echtes Leck.
Auch bekannt als
- ROR
- leak-up rate
- leak-back test
- pressure rise test
Verwandte Begriffe
Virtual leak
In einer verborgenen Tasche im Vakuum eingeschlossenes Gas, das langsam entweicht und sich wie ein kleines echtes Leck verhält.
Outgassing
Langsame Freisetzung von Gas aus den Oberflächen und dem Inneren von Materialien in einem Vakuumsystem.
Leak rate
Gasmenge, die pro Zeiteinheit durch ein Leck in ein Vakuumsystem eintritt, üblicherweise in mbar·L/s.
Base pressure
Der niedrigste Druck, den eine bestimmte Kammer nach einer festgelegten Pumpzeit ohne Prozessgasfluss erreicht.
Micron
Werkstattbezeichnung für ein Millitorr, ein Tausendstel Torr, verwendet in US-Härtereien, Laboren und der Kältetechnik.