Gas, das aus dem System selbst austritt: Wasser und andere Moleküle, die von Oberflächen desorbieren, Gas, das aus dem Inneren diffundiert (Wasserstoff aus Edelstahl), und Dämpfe von Kunststoffen, Klebstoffen und Schmierstoffen. Die Raten werden pro Flächeneinheit in mbar·L/(s·cm²) angegeben; ungeheizter Edelstahl gibt nach etwa zehn Stunden Pumpzeit rund 10⁻⁹ ab, was in etwa proportional zu eins durch die Zeit abfällt. Outgassing, nicht Lecks, bestimmt den Basisdruck der meisten Hochvakuumsysteme.
Pressure isn't a leak, it's outgassing from that new cable bundle, it'll come down if we bake it.
In klarem Deutsch Der Druck liegt nicht an einem Leck, das ist Outgassing von diesem neuen Kabelbündel, das geht runter, wenn wir es ausheizen.
Das Outgassing der Wände sinkt in etwa proportional zu eins durch die Pumpzeit, sodass eine Verdoppelung der Pumpzeit das von ungeheizten Oberflächen abgegebene Gas in etwa halbiert.
Auch bekannt als
- offgassing
Verwandte Begriffe
Bake-out
Erhitzen eines Vakuumsystems während des Pumpens, um Wasser und andere adsorbierte Gase auszutreiben und den Basisdruck zu senken.
Wet
Bezeichnung für eine Kammer, deren Wände noch adsorbiertes Wasser enthalten, sodass sie langsam abpumpt und bei hohem Druck stagniert.
Permeation
Gas, das durch die festen Wände oder Dichtungen eines Vakuumsystems dringt, indem es sich darin löst und hindurchdiffundiert.
Virtual leak
In einer verborgenen Tasche im Vakuum eingeschlossenes Gas, das langsam entweicht und sich wie ein kleines echtes Leck verhält.
Gas load
Gesamter Gasstrom, den ein Pumpsystem bewältigen muss, summiert aus Prozessgas, Lecks, Ausgasung und Permeation.
Gleiches Wort, verschiedene Welten
Gas, das während des Einbrennens aus einem porösen Substrat entweicht und Nadellöcher, Blasen oder Krater in der Schicht verursacht.
Dichtstoffe & BauwerksabdichtungGas, das aus einer beschädigten Hinterfüllschnur oder feuchtem Beton in den aushärtenden Dichtstoff oder die Membran entweicht und Blasen oder Nadellöcher hinterlässt.