Migration von Öldampf, Tröpfchen oder gecrackten Kohlenwasserstoffen aus einer Pumpe stromaufwärts in die Vorvakuumleitung oder die Kammer. Diffusionspumpen zeigen Backstream, wenn die Kappe nicht gekühlt ist oder der Vorvakuumdruck über den kritischen Vorvakuumdruck steigt, und Drehschieberpumpen leiten Öl zurück in eine stillstehende Leitung, die über längere Zeit unter etwa 0,1 mbar gehalten wird. Die Schutzmaßnahmen sind gekühlte Kappen, Prallbleche, Kühlfallen, Vorvakuumfallen und das niemals unbeaufsichtigte Saugen einer mechanischen Pumpe an einer abgesperrten Leitung.
Somebody left the mech pump sitting on the closed foreline all weekend, it backstreamed and the line's coated in oil.
In klarem Deutsch Jemand hat die mechanische Pumpe das ganze Wochenende an der geschlossenen Vorvakuumleitung stehen lassen, sie hat einen Backstream erzeugt und die Leitung ist voller Öl.
Auch bekannt als
- backstreaming
- oil backstreaming
Verwandte Begriffe
Diffusion pump
Hochvakuumpumpe ohne bewegliche Teile, die Gas mit nach unten gerichteten Treibmittelstrahlen aus heißem Öldampf zum Auslass befördert.
Cold trap
Gekühlte Oberfläche in einer Pumpleitung, die Wasser- und Öldampf ausfriert, bevor er die Kammer oder die Pumpe erreicht.
Rotary vane pump
Ölgedichtete Verdrängerpumpe, bei der rotierende Schieber das Gas in einem exzentrischen Rotor fördern.
Oil creep
Langsames Ausbreiten eines dünnen Ölfilms entlang von Metalloberflächen, wodurch Pumpenflüssigkeit weit von ihrem Ursprung weggetragen wird.
Dry pump
Vakuumpumpe ohne Öl oder Flüssigkeit im Schöpfraum, eingesetzt, wo Ölnebel den Prozess kontaminieren würde.