Erhitzen der Kammerwände und Innenteile während des Pumpens, bei UHV-Arbeiten typischerweise auf 120 bis 250 °C für 24 bis 48 Stunden, damit adsorbiertes Wasser und andere Gase in einem Tag statt über Wochen hinweg entweichen. Ein gutes Bake-out senkt den Basisdruck nach dem Abkühlen des Systems um ein bis drei Dekaden. Jedes Teil muss der Hitze standhalten: Viton-Dichtungen sind meist auf etwa 150 °C begrenzt, während CF-Kupferdichtungen weit mehr vertragen.
Wrap the chamber in heater tape and foil, we'll bake out at 150 C for 48 hours, then activate the NEG.
In klarem Deutsch Wickeln Sie die Kammer in Heizband und Alufolie, wir machen ein Bake-out bei 150 °C für 48 Stunden und aktivieren dann die NEG.
Heizen Sie gleichmäßig und spüren Sie Kaltstellen auf: Wasser, das die heißen Wände verlässt, setzt sich einfach am kühlsten Flansch ab, also wickeln Sie jedes Schauglas und jeden Ventilblock in Folie ein.
Auch bekannt als
- bake
- bakeout
- baking
Verwandte Begriffe
Wet
Bezeichnung für eine Kammer, deren Wände noch adsorbiertes Wasser enthalten, sodass sie langsam abpumpt und bei hohem Druck stagniert.
Outgassing
Langsame Freisetzung von Gas aus den Oberflächen und dem Inneren von Materialien in einem Vakuumsystem.
UHV
Ultrahochvakuum: Drücke unter etwa 10⁻⁷ mbar, die nur mit ausheizbaren, metallgedichteten Systemen erreicht werden.
CF flange
Ganzmetallflansch, der abdichtet, indem sich Schneidkanten in eine weiche Kupferdichtung schneiden, die Standardverbindung für UHV.
NEG
Nicht-verdampfbarer Getter: eine poröse Legierung, die aktive Gase pumpt, sobald sie durch Erhitzen im Vakuum aktiviert wurde.