Ultrahochvakuum, definiert als Drücke unter 10⁻⁷ mbar, in der Oberflächenphysik meist unter 10⁻⁹ mbar. Bei diesen Drücken bleibt eine frisch gereinigte Oberfläche stunden- statt sekundenlang sauber, weshalb UHV der Arbeitsbereich für Oberflächenanalytik, Teilchenbeschleuniger und Molekularstrahlepitaxie ist. Um dorthin zu gelangen, sind CF-Metallbunde, ein Ausheizen bei 150 bis 250 °C, ausgasungsarme Materialien und Getterpumpen wie Ionengetterpumpen und NEGs erforderlich, und das Restgas besteht am Ende hauptsächlich aus Wasserstoff aus den Stahlwänden.
System's been UHV for a month, low 10 to the minus eleven on the B-A, so nobody touch that gate valve.
In klarem Deutsch Das System ist seit einem Monat im UHV, niedrige 10 hoch minus elf auf dem B-A, also fasst mir dieses Schieberventil nicht an.
Unter etwa 10⁻¹² mbar spricht man von XHV, extrem hohem Vakuum, und die Messgeräte selbst werden zu einer der größeren Gasquellen.
Auch bekannt als
- ultra-high vacuum
- ultrahigh vacuum
Verwandte Begriffe
High vacuum
Der Bereich von etwa 10⁻³ bis 10⁻⁷ mbar, in dem Moleküle meist an die Wände stoßen und nicht untereinander.
Bake-out
Erhitzen eines Vakuumsystems während des Pumpens, um Wasser und andere adsorbierte Gase auszutreiben und den Basisdruck zu senken.
CF flange
Ganzmetallflansch, der abdichtet, indem sich Schneidkanten in eine weiche Kupferdichtung schneiden, die Standardverbindung für UHV.
Ion pump
Ionengetterpumpe, die Gas in einer magnetischen Hochspannungsentladung ionisiert und die Ionen in Titan vergräbt.
NEG
Nicht-verdampfbarer Getter: eine poröse Legierung, die aktive Gase pumpt, sobald sie durch Erhitzen im Vakuum aktiviert wurde.