Der Bereich von etwa 1 mbar bis hinab zu 10⁻³ mbar, in weiten Teilen Europas auch als Feinvakuum bezeichnet. Die mittlere freie Weglänge wächst in die gleiche Größenordnung wie die Rohr- und Kammerabmessungen, sodass eine Übergangsströmung vorliegt und die Wärmeleitung durch das Gas stark vom Druck abhängt, was genau der Effekt ist, den ein Pirani-Messgerät ausnutzt. Gefriertrocknung, viele Plasmaätz- und Sputterprozesse sowie Vakuumwärmebehandlungen laufen in diesem Bereich ab.
Etch runs at 50 millitorr, that's medium vacuum, so the baratron runs the throttle and the ion gauge stays off.
In klarem Deutsch Der Ätzprozess läuft bei 50 Millitorr, das ist Medium vacuum, also regelt das Baratron das Drosselventil und das Ionisationsmessgerät bleibt aus.
Auch bekannt als
- fine vacuum
Verwandte Begriffe
Rough vacuum
Der Druckbereich von Atmosphärendruck bis etwa 1 mbar, in dem Gas noch wie eine Flüssigkeit strömt.
High vacuum
Der Bereich von etwa 10⁻³ bis 10⁻⁷ mbar, in dem Moleküle meist an die Wände stoßen und nicht untereinander.
Transitional flow
Zwischenbereich zwischen viskoser und molekularer Strömung, in dem sowohl Wand- als auch intermolekulare Stöße eine Rolle spielen.
Pirani gauge
Wärmeleitungs-Vakuummeter, das den Druck darüber misst, wie schnell Gas Wärme von einem heißen Draht ableitet.