Drücke von etwa 10⁻³ bis 10⁻⁷ mbar. Die mittlere freie Weglänge reicht von Zentimetern bis zu Hunderten von Metern und ist damit länger als die Kammer, sodass sich das Gas in einer molekularen Strömung befindet und die Wände, nicht das Gasvolumen, den Großteil der Gaslast liefern. Um diesen Bereich zu erreichen, ist eine Turbomolekular-, Kryo- oder Diffusionspumpe erforderlich, die von einer mechanischen Pumpe gestützt oder vorgepumpt wird, und der Druck wird mit Ionisationsmessgeräten gemessen. Dünnschichtbeschichtung, Elektronenmikroskopie und Massenspektrometrie sind hier angesiedelt.
Coater only gets to high vacuum after the cryo opens, before that it's all roughing pump.
In klarem Deutsch Die Beschichtungsanlage erreicht High vacuum erst, wenn das Kryoventil öffnet, davor läuft alles über die Vorpumpe.
Auch bekannt als
- HV
- hi-vac
Verwandte Begriffe
Medium vacuum
Der Bereich zwischen etwa 1 und 10⁻³ mbar, in dem die Gasströmung von flüssigkeitsähnlich auf Molekül-für-Molekül wechselt.
UHV
Ultrahochvakuum: Drücke unter etwa 10⁻⁷ mbar, die nur mit ausheizbaren, metallgedichteten Systemen erreicht werden.
Molecular flow
Strömungsregime, bei dem Moleküle fast ohne gegenseitige Zusammenstöße zwischen den Wänden hin- und herfliegen.
Turbomolecular pump
Hochvakuumpumpe, deren Rotorschaufeln mit zehntausenden U/min rotieren und Moleküle in Richtung Auslass stoßen.
Ionization gauge
Vakuummeter, das Hoch- und Ultrahochvakuum misst, indem es Gasmoleküle ionisiert und den resultierenden Ionenstrom misst.