Ionization gauge

SubstantivFachbegriffVakuum

Vakuummeter, das Hoch- und Ultrahochvakuum misst, indem es Gasmoleküle ionisiert und den resultierenden Ionenstrom misst.

Eine Familie von Vakuummetern (Ionisationsvakuummeter) für den Bereich von etwa 10⁻² bis 10⁻¹¹ mbar, bei denen Elektronen Gasmoleküle ionisieren und der erfasste Ionenstrom proportional zur Gasdichte ist. Glühkathoden-Typen nutzen ein beheiztes Filament als Elektronenquelle, während Kaltkathoden-Typen eine magnetisch eingeschlossene Entladung nutzen. Jedes Gas ionisiert mit einem anderen Wirkungsgrad, weshalb diese Messgeräte für Stickstoff kalibriert und für andere Gase mit Gaskorrekturfaktoren korrigiert werden.

Am Arbeitsplatz gehört

Don't switch the ion gauge on till the convection gauge has bottomed out, or you'll fry the filament.

In klarem Deutsch Schalte das ion gauge erst ein, wenn das Convection-Vakuummeter den Tiefstwert erreicht hat, sonst brennt dir das Filament durch.

Auch bekannt als

  • ion gauge
  • IG