Residual gas analyzer, meist ein an die Kammer angeflanschtes Quadrupol-Massenspektrometer, das Restgas ionisiert und die Ionen nach ihrem Masse-zu-Ladung-Verhältnis sortiert. Ein Scan zeigt die Partialdrücke nach Masse: 2 für Wasserstoff, 18 für Wasser, 28 für Stickstoff und Kohlenmonoxid, 32 für Sauerstoff, 40 für Argon, 44 für Kohlendioxid. Ein Luftleck zeigt 28 und 32 im Verhältnis von etwa 4 zu 1 mit Argon bei 40, während eine Gruppe bei 41, 43, 55 und 57 auf Kohlenwasserstoffe wie Pumpenöl hindeutet.
RGA shows 28 and 32 at four to one with argon at 40, that's air, we've got a real leak.
In klarem Deutsch Das RGA zeigt 28 und 32 im Verhältnis vier zu eins mit Argon bei 40, das ist Luft, wir haben ein echtes Leck.
Ein auf Masse 4 eingestelltes RGA eignet sich als brauchbarer Helium-Lecksucher, wodurch man sich das Brechen des Vakuums zum Anschließen des Lecksuchgeräts spart.
Auch bekannt als
- residual gas analyzer
- quad
- mass spec
Verwandte Begriffe
Partial pressure
Der Anteil am Gesamtdruck, den eine einzelne Gasspezies in einem Gemisch beiträgt.
Cracking pattern
Das charakteristische Fragmentierungsmuster (Bruchstückspektrum), das ein Molekül in einem Massenspektrometer erzeugt und zur Identifizierung in einem RGA-Scan dient.
Helium leak detector
Auf Helium abgestimmtes Massenspektrometer, das Lecks findet und misst, indem es in das System eingesaugtes Helium detektiert.
Chase a leak
Ein Leck unbekannter Position Verbindung für Verbindung zu suchen, oft über Stunden, bis die Quelle genau lokalisiert ist.