Cold cathode gauge

SubstantivFachbegriffVakuum

Ionisationsvakuummeter ohne Filament, das eine magnetisch eingeschlossene Entladung nutzt, um Hochvakuumdruck zu messen.

Ein Ionisationsvakuummeter (Kaltkathoden-Vakuummeter), bei dem eine Hochspannung und ein Permanentmagnet eine Penning- oder invertierte Magnetron-Entladung aufrechterhalten, deren Strom dem Druck von etwa 10⁻² bis hinab zu 10⁻⁹ mbar oder darunter folgt. Ohne heißes Filament übersteht es Belüftungen und schmutzige Prozesse, weshalb es an Produktionsanlagen weit verbreitet ist. Bei sehr niedrigem Druck kann die Entladung nur schwer zünden, und eine Verschmutzung der Elektroden verschiebt die Kalibrierung.

Am Arbeitsplatz gehört

Cold cathode on the analysis chamber can take minutes to strike down in the E-10s, don't panic when it reads nothing at first.

In klarem Deutsch Das cold cathode an der Analysekammer kann im E-10-Bereich Minuten brauchen, um zu zünden, keine Panik, wenn es zuerst nichts anzeigt.

Auch bekannt als

  • Penning gauge
  • inverted magnetron gauge
  • IMG
  • CCG