Eine Ionengetterpumpe besteht aus Anodenanordnungen aus Edelstahl zwischen Titankathodenplatten, die bei 3 bis 7 kV in einem Magnetfeld von etwa 0,1 bis 0,2 T gehalten werden. In den Zellen gefangene Elektronen ionisieren Gas, und die Ionen treffen auf die Kathoden, vergraben sich selbst und zerstäuben frisches Titan, das aktive Gase chemisch bindet. Sie ist leise, vibrationsfrei und ölfrei, erreicht Ultrahochvakuum (UHV) und dient gleichzeitig als Messgerät, da ihr Strom dem Druck folgt, benötigt aber einen Startdruck unter etwa 10⁻⁵ mbar.
Ion pump current fell off a cliff after the bake and the B-A agrees, we're in the 10 to the minus ten range.
In klarem Deutsch Der Strom der ion pump ist nach dem Ausheizen massiv abgefallen und das B-A-Vakuummeter bestätigt es, wir sind im Bereich von 10 hoch minus zehn.
Der Pumpenstrom dient gleichzeitig als kostenlose Druckanzeige, aber bei sehr niedrigem Druck setzt der Feldemissions-Leckstrom eine Untergrenze, sodass der Messwert dem realen Druck nicht mehr folgt.
Auch bekannt als
- sputter ion pump
- SIP
- VacIon
Verwandte Begriffe
Argon instability
Periodische Druckstöße in einer Dioden-Ionengetterpumpe, wenn vergrabenes Argon wieder von den Kathoden freigesetzt wird.
Getter
Reaktives Material, das Gas aus einem Vakuum entfernt, indem es dieses chemisch an eine frische Metalloberfläche bindet.
UHV
Ultrahochvakuum: Drücke unter etwa 10⁻⁷ mbar, die nur mit ausheizbaren, metallgedichteten Systemen erreicht werden.
TSP
Titansublimationspumpe: ein beheizter Titanfaden, der umliegende Wände mit einem frischen Getterfilm beschichtet.