Die Pumpe, die eine Kammer von Atmosphärendruck auf den Umschaltdruck evakuiert, meist einige Zehntel Millibar, und zwar über eine eigene Evakuierungsleitung und ein entsprechendes Ventil. Drehschieber-, Scroll-, trockene Schrauben- und Klauenpumpen übernehmen diese Aufgabe, bei großen Volumina oft unterstützt durch ein Wälzkolbengebläse. Bei kleinen Systemen evakuiert eine einzige Pumpe sowohl die Kammer als auch die Hochvakuumpumpe, wobei Ventile zwischen den beiden Aufgaben umschalten.
Roughing pump's struggling, it took twelve minutes to get the load lock to crossover instead of four.
In klarem Deutsch Die Roughing pump quält sich ab, es hat zwölf statt vier Minuten gedauert, bis die Schleuse den Umschaltdruck erreicht hat.
Auch bekannt als
- rougher
- rough pump
Nicht zu verwechseln mit
- Backing pump: Eine Roughing pump evakuiert die Kammer selbst, während eine backing pump die Auslassseite einer laufenden Hochvakuumpumpe auf niedrigem Druck hält. Oft übernimmt dieselbe Maschine beide Aufgaben.
Verwandte Begriffe
Backing pump
Pumpe, die den Auslass einer Turbo-, Diffusions- oder Wälzkolbenpumpe unter ihrem maximal zulässigen Druck hält.
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.
Crossover
Punkt während des Evakuierens, an dem das Pumpen von der Vorpumpe auf die Hochvakuumpumpe umgeschaltet wird.
Rotary vane pump
Ölgedichtete Verdrängerpumpe, bei der rotierende Schieber das Gas in einem exzentrischen Rotor fördern.
Dry pump
Vakuumpumpe ohne Öl oder Flüssigkeit im Schöpfraum, eingesetzt, wo Ölnebel den Prozess kontaminieren würde.