La pompe qui vide une chambre de la pression atmosphérique jusqu'à la pression de transition, généralement quelques dixièmes de millibar, via une ligne et une vanne de prévide dédiées. Les pompes à palettes, à spirales, à vis sèches et à becs remplissent ce rôle, souvent associées à un surpresseur Roots sur les grands volumes. Sur les petits systèmes, une seule pompe assure à la fois le prévide de la chambre et le pompage primaire de la pompe à vide poussé, basculant entre les deux tâches grâce à des vannes.
Roughing pump's struggling, it took twelve minutes to get the load lock to crossover instead of four.
En français simple La roughing pump peine, il a fallu douze minutes pour amener le sas de transfert à la pression de transition au lieu de quatre.
Aussi entendu sous
- rougher
- rough pump
Ne pas confondre avec
- Backing pump: Une roughing pump vide la chambre elle-même, tandis qu'une backing pump maintient sous vide le côté refoulement d'une pompe à vide poussé en fonctionnement : une même machine assure souvent les deux rôles.
Termes associés
Backing pump
Pompe qui maintient le refoulement d'une pompe turbo, à diffusion ou Roots sous sa pression maximale admissible.
Rough out
Pomper une chambre remise à l'atmosphère jusqu'au point de transition avec la pompe de prévide, avant l'ouverture de la vanne de vide poussé.
Crossover
Point d'un pompage où le pompage bascule de la pompe de prévide à la pompe à vide poussé.
Rotary vane pump
Pompe volumétrique à joint d'huile dans laquelle des palettes coulissantes entraînent le gaz autour d'un rotor excentré.
Dry pump
Pompe à vide sans huile ni liquide dans sa chambre de pompage, utilisée là où les vapeurs d'huile contamineraient le procédé.