Mode de défaillance des pompes ioniques diodes standard pompant de l'argon ou d'autres gaz rares: l'argon enterré dans les cathodes est ensuite libéré par pulvérisation, produisant des pics de pression réguliers toutes les quelques minutes. Les systèmes qui utilisent de l'argon de procédé, ou qui subissent l'apport d'environ 1 pour cent d'argon par une fuite d'air, utilisent des pompes diodes pour gaz rares, avec une cathode en tantale, ou des pompes triodes à la place. Un profil en dents de scie sur l'enregistrement de pression est la signature classique.
Pressure's sawtoothing every ten minutes, smells like argon instability, is that pump a plain diode?
En français simple La pression fait des dents de scie toutes les dix minutes, ça ressemble à une argon instability, est-ce que cette pompe est une simple diode?
Aussi entendu sous
- argon pumping instability
Termes associés
Ion pump
Pompe à transfert qui ionise le gaz dans une décharge magnétique haute tension et enterre les ions dans le titane.
Partial pressure
La part de la pression totale apportée par une espèce de gaz particulière dans un mélange.
RGA
Analyseur de gaz résiduels : un petit spectromètre de masse qui identifie les gaz restants dans une chambre à vide.
Burp
Brève et soudaine augmentation de pression dans un système sous vide provenant de gaz piégé, d'un piège qui se réchauffe ou d'une pièce mobile.