Toute pompe de prévide ou pompe primaire qui comprime le gaz sans fluide d'étanchéité dans le volume balayé : modèles à spirales, à vis, à becs, Roots multi-étagés et à membrane. Les usines de semi-conducteurs installent des pompes sèches multi-étagées à vis ou à becs-Roots sur presque tous les outils de procédé car elles supportent des échappements corrosifs et chargés de particules et n'ajoutent pas d'hydrocarbures dans la ligne. Elles coûtent plus cher que les pompes à joint d'huile et nécessitent souvent une purge d'azote et de l'eau de refroidissement.
Dry pump on etch 4 tripped on high current again, probably process byproducts caking in the stages.
En français simple La dry pump sur la gravure 4 a encore disjoncté sur surintensité, probablement des sous-produits de procédé qui s'encrassent dans les étages.
Aussi entendu sous
- dry vacuum pump
- dry roughing pump
Ne pas confondre avec
- Rotary vane pump: Une rotary vane pump a besoin d'huile pour assurer l'étanchéité de ses jeux et est considérée comme une pompe humide, tandis qu'une dry pump ne contient aucun fluide sur le trajet du gaz.
Termes associés
Scroll pump
Pompe sèche qui comprime le gaz entre une spirale fixe et une spirale orbitale, sans huile sur le trajet du gaz.
Rotary vane pump
Pompe volumétrique à joint d'huile dans laquelle des palettes coulissantes entraînent le gaz autour d'un rotor excentré.
Roughing pump
Pompe qui descend une chambre de l'atmosphère jusqu'à la pression à laquelle la pompe à vide poussé peut prendre le relais.
Backstream
Pour l'huile ou la vapeur de pompe, s'écouler dans le mauvais sens, de la pompe vers la chambre.