La vitesse constatée au niveau de l'accès de la chambre une fois prise en compte la conductance de tout ce qui se trouve entre elle et la pompe : 1/S_eff = 1/S + 1/C. Elle est toujours inférieure à la vitesse nominale, et en écoulement moléculaire, elle peut être considérablement plus basse, car une ligne longue et étroite peut annuler l'essentiel de l'effet d'une grande pompe. Les concepteurs boulonnent les pompes à vide poussé directement sur la chambre à travers la vanne la plus courte et la plus large possible pour maintenir S_eff proche de S.
Effective pumping speed at the wafer is maybe 40 percent of nameplate with that gate valve and baffle in the way.
En français simple La effective pumping speed au niveau de la plaquette est d'environ 40 pour cent de la valeur nominale avec cette vanne tiroir et ce déflecteur sur le chemin.
Aussi entendu sous
- net pumping speed
- S_eff
Termes associés
Pumping speed
Volume de gaz qu'une pompe extrait de son aspiration par unité de temps, mesuré à la pression d'aspiration.
Conductance
Facilité avec laquelle un tuyau, un orifice ou une vanne laisse passer le gaz, exprimée en litres par seconde.
Molecular flow
Régime d'écoulement dans lequel les molécules rebondissent entre les parois presque sans se rencontrer.
Gate valve
Vanne à passage intégral dotée d'un clapet coulissant qui isole une pompe à vide poussé ou un sas de chargement de la chambre.