Débit de gaz exprimé par le produit de la pression par le débit volumétrique, Q = p·S, en mbar·L/s, Torr·L/s ou Pa·m³/s. Comme il comptabilise la quantité de gaz plutôt que le volume, le throughput est conservé le long d'une ligne de pompage en régime permanent : le gaz qui quitte la chambre est le gaz qui arrive à la pompe primaire. Les ingénieurs l'utilisent pour dimensionner les pompes primaires, pour vérifier si une turbo peut absorber un débit de procédé, et pour exprimer les fuites et le dégazage dans les mêmes unités.
Process flow is 200 sccm, that's about 3.4 mbar-litres a second of throughput the turbo has to swallow.
En français simple Le débit de procédé est de 200 sccm, ce qui représente environ 3,4 mbar-litres par seconde de throughput que la turbo doit absorber.
Pour dimensionner une pompe primaire, divisez le throughput maximum de la pompe à vide poussé par la pression de refoulement maximale qu'elle tolère : c'est la vitesse de pompage primaire minimale.
Aussi entendu sous
- Q
- gas throughput
- pV flow
Termes associés
Pumping speed
Volume de gaz qu'une pompe extrait de son aspiration par unité de temps, mesuré à la pression d'aspiration.
Conductance
Facilité avec laquelle un tuyau, un orifice ou une vanne laisse passer le gaz, exprimée en litres par seconde.
sccm
Centimètres cubes standard par minute : une unité de débit massique pour les gaz de procédé, rapportée à 0 °C et 1 atm.
Backing pump
Pompe qui maintient le refoulement d'une pompe turbo, à diffusion ou Roots sous sa pression maximale admissible.