La distance moyenne qu'une molécule parcourt entre deux collisions avec d'autres molécules, inversement proportionnelle à la pression. Pour l'air à 20 °C, le produit du libre parcours moyen par la pression est d'environ 6,65×10⁻³ cm·mbar, ce qui donne environ 66 nm à l'atmosphère, 66 µm à 1 mbar, 6,6 cm à 10⁻³ mbar et 660 m à 10⁻⁷ mbar. Le comparer aux dimensions des conduites et de la chambre permet de connaître le régime d'écoulement et de savoir comment les pompes et les jauges vont se comporter.
At 1E-5 mbar the mean free path is metres, so the sputtered atoms fly straight to the substrate without scattering.
En français simple À 1E-5 mbar, le mean free path est de plusieurs mètres, donc les atomes pulvérisés volent directement vers le substrat sans collision.
Une valeur de repère simple pour l'air : environ 5 cm à 1 millitorr. Divisez 5 cm par la pression en millitorr et vous l'obtenez.
Aussi entendu sous
- MFP
- lambda
Termes associés
Knudsen number
Rapport entre le libre parcours moyen et une dimension caractéristique telle que le diamètre d'une conduite, utilisé pour définir le régime d'écoulement.
Molecular flow
Régime d'écoulement dans lequel les molécules rebondissent entre les parois presque sans se rencontrer.
Viscous flow
Régime d'écoulement à pression relativement élevée où les molécules entrent principalement en collision les unes avec les autres, de sorte que le gaz se déplace comme un fluide continu.