Une petite chambre située entre l'atmosphère et une chambre de procédé, dotée d'une porte ou d'une vanne de chaque côté. Les plaquettes ou les pièces y sont introduites, le load lock est pompé jusqu'à une pression définie, puis la vanne interne s'ouvre pour le transfert, de sorte que la chambre principale reste sous vide poussé et ne prend jamais l'humidité de l'air ambiant. Les équipements de production en salle blanche comportent souvent deux load locks pour que l'un puisse effectuer son cycle pendant que l'autre alimente la machine.
Load lock takes ninety seconds to pump, that's what's capping throughput on this tool, not the process.
En français simple Le load lock met quatre-vingt-dix secondes à pomper, c'est cela qui limite la cadence sur cette machine, pas le procédé.
Aussi entendu sous
- loadlock
- LL
- airlock
Termes associés
Gate valve
Vanne à passage intégral dotée d'un clapet coulissant qui isole une pompe à vide poussé ou un sas de chargement de la chambre.
Rough out
Pomper une chambre remise à l'atmosphère jusqu'au point de transition avec la pompe de prévide, avant l'ouverture de la vanne de vide poussé.
Vent
Introduire du gaz dans une chambre sous vide, généralement de l'azote sec, pour la ramener à la pression atmosphérique.
Wet
Se dit d'une chambre dont les parois contiennent encore de l'eau adsorbée, ce qui ralentit le pompage et bloque la pression à un niveau élevé.