Eine kleine Kammer zwischen der Umgebung und einer Prozesskammer, mit einer Tür oder einem Ventil auf jeder Seite. Wafer oder Teile kommen hinein, das Load lock wird auf einen Solldruck gepumpt, und das innere Ventil öffnet sich für den Transfer, sodass die Hauptkammer im Hochvakuum bleibt und kein Wasser aus der Raumluft aufnimmt. Halbleiter-Cluster-Anlagen verfügen oft über zwei Load locks, sodass eines arbeiten kann, während das andere die Anlage beschickt.
Load lock takes ninety seconds to pump, that's what's capping throughput on this tool, not the process.
In klarem Deutsch Das Load lock braucht neunzig Sekunden zum Pumpen, das begrenzt den Durchsatz dieser Anlage, nicht der Prozess.
Auch bekannt als
- loadlock
- LL
- airlock
Verwandte Begriffe
Gate valve
Ventil mit vollem Durchgang und einer Schieberplatte, das eine Hochvakuumpumpe oder eine Schleuse von der Kammer trennt.
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.
Vent
Das Einlassen von Gas, meist trockenem Stickstoff, in eine evakuierte Kammer, um sie wieder auf Atmosphärendruck zu bringen.
Wet
Bezeichnung für eine Kammer, deren Wände noch adsorbiertes Wasser enthalten, sodass sie langsam abpumpt und bei hohem Druck stagniert.