Una pequeña cámara entre la sala y una cámara de proceso, con una puerta o válvula a cada lado. Las obleas o piezas entran, el load lock se bombea hasta una presión establecida y la válvula interna se abre para la transferencia, de modo que la cámara principal permanece en alto vacío y nunca absorbe agua del aire de la sala. Los equipos de fabricación integrados de las salas limpias suelen llevar dos load locks para que uno pueda realizar el ciclo mientras el otro alimenta el equipo.
Load lock takes ninety seconds to pump, that's what's capping throughput on this tool, not the process.
En español sencillo El load lock tarda noventa segundos en bombear, eso es lo que limita el rendimiento en este equipo, no el proceso.
También se escucha como
- loadlock
- LL
- airlock
Términos relacionados
Gate valve
Válvula de paso total con una placa deslizante que aísla una bomba de alto vacío o una cámara de carga del resto de la cámara.
Rough out
Bombear una cámara ventilada desde la presión atmosférica hasta el punto de transición con la bomba de vacío previo, antes de que se abra la válvula de alto vacío.
Vent
Introducir gas de nuevo en una cámara evacuada, normalmente nitrógeno seco, para llevarla a presión atmosférica.
Wet
Se dice de una cámara cuyas paredes aún contienen agua adsorbida, por lo que el bombeo es lento y se estanca en valores altos.