Admitir gas en un sistema de vacío hasta que alcanza la presión atmosférica para poder abrirlo. Las buenas prácticas exigen realizar el vent con nitrógeno seco en lugar de aire ambiente, porque el nitrógeno deja mucha menos agua en las paredes y el siguiente pump-down es más rápido. Ventilar demasiado rápido levanta partículas y puede dañar vacuómetros, filtros y bombas turbomoleculares en rotación, por lo que los equipos utilizan un soft vent a través de un orificio pequeño antes de abrir una válvula mayor.
Vent the load lock with nitrogen, not house air, we're already chasing water on this tool.
En español sencillo Haga el vent de la cámara de carga con nitrógeno, no con aire de la planta, que ya estamos teniendo problemas con el agua en este equipo.
Mantenga un pequeño flujo de purga de nitrógeno mientras la cámara esté abierta; esto evita que entre el aire húmedo del ambiente y acorta el siguiente pump-down.
También se escucha como
- vent up
- let up
- bring up to air
Términos relacionados
Up to air
Se dice de una cámara que se ha ventilado a presión atmosférica y está abierta o lista para abrirse.
Backfill
Llenar una cámara evacuada con un gas seleccionado, a menudo a una presión establecida, en lugar de con aire ambiente.
Soft pump
Vacío previo lento y estrangulado desde la atmósfera que evita levantar partículas y condensar la humedad.
Wet
Se dice de una cámara cuyas paredes aún contienen agua adsorbida, por lo que el bombeo es lento y se estanca en valores altos.
Atmo
Abreviatura informal en el taller para la presión atmosférica, utilizada para referirse a una cámara que está ventilada y abierta al aire.