Término de la jerga del oficio para un pico de presión corto que va y viene: gas que se escapa de una bolsa atrapada cuando una pieza se mueve, una trampa de nitrógeno líquido que desprende gas a medida que se calienta, o el vástago de una válvula o un bellows que se flexiona. Los burps aparecen como picos en el registro de presión y, cuando se repiten a intervalos regulares, suelen apuntar a una fuga virtual, inestabilidad del argón o una válvula que cicla.
Chamber burps every time the wafer lift moves, I think there's a trapped pocket under the lift bellows.
En español sencillo La cámara hace un burp cada vez que se mueve el elevador de obleas, creo que hay una bolsa atrapada debajo del bellows del elevador.
También se escucha como
- pressure burst
- spike
Términos relacionados
Virtual leak
Gas atrapado en una cavidad oculta dentro del vacío que se libera lentamente y se comporta como una pequeña fuga real.
Argon instability
Ráfagas periódicas de presión en una "ion pump" de diodo a medida que el argón enterrado se libera de nuevo de los cátodos.
Cold trap
Superficie enfriada en una línea de bombeo que congela el vapor de agua y aceite antes de que llegue a la cámara o a la bomba.
RGA
Analizador de gas residual: un pequeño espectrómetro de masas que identifica qué gases quedan en una cámara de vacío.