Condensación dentro de una cámara durante un vacío previo rápido: el gas se expande de forma casi adiabática, su temperatura desciende y el vapor de agua se condensa en gotas o cristales de hielo que pueden arrastrar partículas hacia las obleas y la óptica. Es más fácil de ver a través de una mirilla en un día húmedo. Un vacío previo más lento y la ventilación con nitrógeno seco lo evitan.
Saw fogging in the load lock window on the first pump-down after the humidity spiked, so we slowed the soft pump.
En español sencillo Se observó fogging en la ventana de la cámara de carga en el primer pump-down después de que la humedad se disparara, por lo que ralentizamos el soft pump.
También se escucha como
- pump-down fog
- condensation fog
Términos relacionados
Soft pump
Vacío previo lento y estrangulado desde la atmósfera que evita levantar partículas y condensar la humedad.
Vapor pressure
Presión a la que un líquido o sólido está en equilibrio con su propio vapor, lo que determina qué se puede introducir en una cámara.
Wet
Se dice de una cámara cuyas paredes aún contienen agua adsorbida, por lo que el bombeo es lento y se estanca en valores altos.
Rough out
Bombear una cámara ventilada desde la presión atmosférica hasta el punto de transición con la bomba de vacío previo, antes de que se abra la válvula de alto vacío.