Condensation à l'intérieur d'une chambre lors d'un pompage initial rapide : le gaz se détend de manière presque adiabatique, sa température chute et la vapeur d'eau se condense en gouttelettes ou en cristaux de glace qui peuvent déposer des particules sur les plaquettes et les optiques. C'est plus facile à observer à travers un hublot par temps humide. Un pompage initial plus lent et une remise à l'atmosphère avec de l'azote sec permettent d'éviter ce phénomène.
Saw fogging in the load lock window on the first pump-down after the humidity spiked, so we slowed the soft pump.
En français simple J'ai observé du fogging à travers le hublot du sas lors du premier pompage après un pic d'humidité, nous avons donc ralenti le soft pump.
Aussi entendu sous
- pump-down fog
- condensation fog
Termes associés
Soft pump
Pompage initial lent et restreint depuis l'atmosphère qui évite de remettre les particules en suspension et de condenser l'humidité.
Vapor pressure
Pression à laquelle un liquide ou un solide est en équilibre avec sa propre vapeur, ce qui détermine ce qui peut entrer dans une chambre.
Wet
Se dit d'une chambre dont les parois contiennent encore de l'eau adsorbée, ce qui ralentit le pompage et bloque la pression à un niveau élevé.
Rough out
Pomper une chambre remise à l'atmosphère jusqu'au point de transition avec la pompe de prévide, avant l'ouverture de la vanne de vide poussé.