Kondensation in einer Kammer während des schnellen Evakuierens: Das Gas expandiert nahezu adiabatisch, seine Temperatur sinkt und Wasserdampf kondensiert zu Tröpfchen oder Eiskristallen, die Partikel auf Wafer und Optiken übertragen können. Dies ist an feuchten Tagen am einfachsten durch ein Schauglas zu beobachten. Langsameres Evakuieren und das Belüften mit trockenem Stickstoff verhindern dies.
Saw fogging in the load lock window on the first pump-down after the humidity spiked, so we slowed the soft pump.
In klarem Deutsch Beim ersten Evakuieren nach dem Anstieg der Luftfeuchtigkeit haben wir im Schleusenfenster ein Fogging beobachtet, also haben wir den Soft pump verlangsamt.
Auch bekannt als
- pump-down fog
- condensation fog
Verwandte Begriffe
Soft pump
Langsames, gedrosseltes Evakuieren aus dem Atmosphärendruck, um das Aufwirbeln von Partikeln und das Kondensieren von Feuchtigkeit zu verhindern.
Vapor pressure
Druck, bei dem ein flüssiger oder fester Stoff mit seinem eigenen Dampf im Gleichgewicht steht, was bestimmt, was in eine Kammer eingebracht werden darf.
Wet
Bezeichnung für eine Kammer, deren Wände noch adsorbiertes Wasser enthalten, sodass sie langsam abpumpt und bei hohem Druck stagniert.
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.