Das Einlassen eines bestimmten Gases, typischerweise Stickstoff, Argon oder Helium, in eine evakuierte Kammer, um sie entweder sauber zu belüften oder eine Arbeitsatmosphäre einzustellen. Vakuumöfen nutzen den Backfill mit Argon oder Stickstoff zum Abkühlen und Gasabschrecken, und beim Versiegeln von Verpackungen wird ein Backfill bis zu einem bestimmten Druck durchgeführt, bevor der Deckel aufgesetzt wird. Mehrmaliges Evakuieren und Backfillen hintereinander, eine Spülung im Zyklus, entzieht Feuchtigkeit und Sauerstoff weitaus schneller als Evakuieren allein.
Backfill with argon to 600 torr, then start the fan for the quench.
In klarem Deutsch Machen Sie einen Backfill mit Argon bis 600 Torr, und starten Sie dann das Gebläse für das Abschrecken.
Auch bekannt als
- back-fill
- backfilling
Verwandte Begriffe
Vent
Das Einlassen von Gas, meist trockenem Stickstoff, in eine evakuierte Kammer, um sie wieder auf Atmosphärendruck zu bringen.
Convection gauge
Vakuummeter vom Pirani-Typ, das die Gaskonvektion um den beheizten Draht nutzt, um von etwa 10⁻³ mbar bis Atmosphärendruck zu messen.
Bleed
Einen kleinen, kontrollierten Gasstrom durch ein Nadel- oder Dosierventil in ein Vakuumsystem einlassen.