Die Gesamtzeit, die ein Pumpsystem benötigt, um Gas zu entfernen und ein gewünschtes Vakuum zu erreichen. In der Vorvakuumphase wird diese Zeit durch das Kammervolumen und das Saugvermögen der mechanischen Pumpe bestimmt. Sobald das System das Hochvakuum erreicht, wird das Ausgasen der Kammerwände zum dominierenden Faktor, wodurch sich die Zeit logarithmisch verlängert.
Our pumping time to ten to the minus six has doubled since last week, so we either have a dirty chamber or a failing turbo.
In klarem Deutsch Unsere pumping time auf zehn hoch minus sechs hat sich seit letzter Woche verdoppelt, wir haben also entweder eine verschmutzte Kammer oder eine ausfallende Turbopumpe.
Die Berechnung der theoretischen pumping time für Hochvakuum ist bekanntermaßen schwierig, da Oberflächenausgasungen und virtuelle Lecks die Berechnung meist um Stunden oder Tage verlängern.
Auch bekannt als
- Pump-down time
Nicht zu verwechseln mit
- Pumping speed: Pumping speed (Saugvermögen) ist das pro Zeiteinheit abgeführte Gasvolumen, während pumping time die Gesamtdauer ist, die zum Erreichen eines Zieldrucks erforderlich ist.
Verwandte Begriffe
Pump down
Das Evakuieren einer Kammer von Atmosphärendruck auf ihren Arbeitsdruck über Vorvakuum, Crossover und Hochvakuum.
Pump-down curve
Diagramm des Kammerdrucks über der Zeit während des Evakuierens, das als Fingerabdruck eines gesunden Systems dient.
Pumping speed
Gasvolumen, das eine Pumpe pro Zeiteinheit aus ihrem Einlass entfernt, gemessen beim Einlassdruck.
Outgassing
Langsame Freisetzung von Gas aus den Oberflächen und dem Inneren von Materialien in einem Vakuumsystem.