Das Evakuieren einer Kammer durch eine kleine Blende oder ein teilweise geöffnetes Ventil während des ersten Teils des Pump-down, gefolgt vom Umschalten auf die volle Vorvakuumleitung, oft irgendwo zwischen 100 und 10 mbar. Der sanfte Start hält Partikel an den Wänden statt auf den Wafern und begrenzt die plötzliche Expansionsabkühlung, die Wasser zu Nebel kondensieren lassen kann. Halbleiter-Schleusen durchlaufen bei jedem Zyklus einen soft-pump und einen sanften Belüftungsschritt.
Soft pump's set to switch at 20 torr, any faster and we see adders on the particle wafer.
In klarem Deutsch Der Soft pump ist so eingestellt, dass er bei 20 Torr umschaltet, bei jedem schnelleren Vorgehen sehen wir zusätzliche Partikel auf dem Testwafer.
Auch bekannt als
- slow pump
- soft rough
Verwandte Begriffe
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.
Fogging
Nebel, der sich bei schnellem Evakuieren in einer Kammer bildet, wenn sich die expandierende Luft abkühlt und ihr Wasser kondensiert.
Vent
Das Einlassen von Gas, meist trockenem Stickstoff, in eine evakuierte Kammer, um sie wieder auf Atmosphärendruck zu bringen.
Viscous flow
Strömungsregime, bei dem Moleküle hauptsächlich untereinander zusammenstoßen, sodass sich das Gas wie ein kontinuierliches Fluid bewegt.